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適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)
特征
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)
配備皮拉尼真空計(jì)，確保成膜條件的再現(xiàn)性
標(biāo)配手動(dòng)快門
TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。
由于它可以鍍上鎢，因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
桌面快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ ADVANCE
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2寸直流磁控管/平板型電極 |
| 適用對象 | Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al |
| 壓力測量 | 皮拉尼真空計(jì) |
| 壓力控制 | 針閥手動(dòng)控制 引入直徑 外徑 φ6mm 一鍵式接頭 |
| 工藝氣體 | 氬氣 |
| 真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20L/min（帶自動(dòng)漏液） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身體：9 公斤 反相：9 公斤 |
